Metody zápisu nanostruktur rastrovací sondou = Scanning Probe Nanolithography Methods

To chci

AFM (atomic force microscopy) nanolithography can be used for preparation of nanostructures in various fields such as nanodevices, nanoantenas and biosensors. Several methods of AFM nanolithography (local anodic oxidation, electron resist exposure, dip pen nanolithography and nanoscratching), their advantages and essential properties are described.

Podrobná bibliografie

Hlavní autor

Michal Urbánek

Další autoři

Stanislav Krátký, Milan Matějka, Vladimír Kolařík, Miroslav Horáček

Typ dokumentu

Články

Fyzický popis

Ilustrace

Publikováno v

Chemické listy. -- ISSN 0009-2770. -- Roč. 108, č. 10 (2014), s. 937-941

Témata

PARTICLE SIZE

mikroskopie

OXIDATION

rozměry částic

oxidace

AFM > atomic force microscopy > mikroskopie atomárních sil > mikroskopie v blízkém poli > nanostruktury > rastrovací sonda > lokální anodická oxidace > rytí hrotem

Popis jednotky

8 obrázků

Bibliografie

Literatura na s. 940-941,