Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev
V článku je popsáno zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev, pracující na principu spektroskopické relfexní interferometrie. Nově zkonstruovaný přístroj byl pužit při studiu oxidu křemíku deponovaných na křemíkový substrát zařízením IBAD. Výsledky byly porovnány s měřeními provedenými komerčním spektrofotometrem.
Uloženo v:
Podrobná bibliografie
- Hlavní autor
- Další autoři
- , , , ,
- Typ dokumentu
- Články
- Fyzický popis
- Ilustrace.
- Publikováno v
- Jemná mechanika a optika. -- ISSN 0447-6441. -- Roč. 48, č. 6 (2003), s. 163-165
- Témata
- Bibliografie
- Obsahuje bibliografii
| Cíl | Přístupnost | Odkaz | Zdroj odkazu |
|---|---|---|---|
| Web | Plný text | Výběr článků v českých novinách, časopisech a sbornících - ANL |